氧化銦錫膜是一種性能優(yōu)良的透明導(dǎo)電材料，它對(duì)太陽(yáng)光譜的可見光范圍透明，對(duì)紅外光有較強(qiáng)的反射，而且又有低的電阻率氧化硅薄膜，并與玻璃有較強(qiáng)的附著力，良好的耐磨性及化學(xué)穩(wěn)定性。因此它是一種比比較理想的能效材料及優(yōu)良的透明電極材料。

ITO主要用于制作液晶顯示器、平板顯示器、等離子顯示器、觸摸屏、電子紙等應(yīng)用、有機(jī)發(fā)光二極管、以及太陽(yáng)能電池、和抗靜電鍍膜還有EMI屏蔽的透明傳導(dǎo)鍍膜。

ITO也被用于各種光學(xué)鍍膜，最值得注意的有建筑學(xué)中紅外線-反射鍍膜(熱鏡)、汽車、還有鈉蒸汽燈玻璃等。別的應(yīng)用包括氣體傳感器、抗反射膜、和用于VCSEL激光器的布拉格反射器。

目前制備ITO膜的主要有蒸發(fā)，熱噴涂及濺射沉積等。In2O3是一種直接躍遷寬禁帶半導(dǎo)體材料，摻Sn之后構(gòu)成的In2O3：Sn n型半導(dǎo)體的禁帶寬度比純In2O3加寬了，摻雜的濃度直接影響膜的光學(xué)性能及電學(xué)性能。

ITO薄膜應(yīng)力規(guī)可以在高于1400℃及嚴(yán)酷的環(huán)境中是用，例如氣體渦輪、噴氣引擎、還有火箭引擎。

ITO膜層的主要成份是氧化銦錫。在厚度只有幾千埃的情況下，氧化銦透過(guò)率高，氧化錫導(dǎo)電能力強(qiáng)，液晶顯示器所用的ITO玻璃正是一種具有高透過(guò)率的導(dǎo)電玻璃。由于ITO具有很強(qiáng)的吸水性，所以會(huì)吸收空氣中的水份和二氧化碳并產(chǎn)生化學(xué)反應(yīng)而變質(zhì)，俗稱“霉變”，因此在存放時(shí)要防潮。

ITO層在活性正價(jià)離子溶液中易產(chǎn)生離子置換反應(yīng)，形成其它導(dǎo)電和透過(guò)率不佳的反應(yīng)物質(zhì)，所以在加工過(guò)程中氧化硅薄膜，盡量避免長(zhǎng)時(shí)間放在活性正價(jià)離子溶液中。ITO層由很多細(xì)小的晶粒組成，晶粒在加溫過(guò)程中會(huì)裂變變小，從而增加更多晶界，電子突破晶界時(shí)會(huì)損耗一定的能量，所以ITO導(dǎo)電玻璃的ITO層在600度以下會(huì)隨著溫度的升高，電阻也增大。